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ST2258C型多功能數(shù)字式四探針測(cè)試儀是半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。

更新時(shí)間:2021-09-10      點(diǎn)擊次數(shù):1844

ST2258C型多功能數(shù)字式四探針測(cè)試儀概述      

ST2258C型多功能數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理測(cè)試電阻率/方阻的多用途綜合測(cè)量儀器。該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
      儀器成套組成:由主機(jī)、選配的四探針探頭、測(cè)試臺(tái)等部分組成。
主機(jī)主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入;具有零位、滿度自校功能;電壓電流全自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程;測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。本測(cè)試儀特贈(zèng)設(shè)測(cè)試結(jié)果分類功能,最大分類10類。
      探頭選配:根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測(cè)試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測(cè)柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜(ITO膜)或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測(cè)試夾具,還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。配專用探頭,也可測(cè)試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。
      測(cè)試臺(tái)選配:一般四探針法測(cè)試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測(cè)試臺(tái)。二探針法測(cè)試電阻率測(cè)試選SZT-K型測(cè)試臺(tái),也可選配SZT-D型測(cè)試臺(tái)以測(cè)試半導(dǎo)體粉末電阻率,選配SZT-G型測(cè)試臺(tái)測(cè)試橡塑材料電阻率。詳見《四探針儀器、探頭和測(cè)試臺(tái)的特點(diǎn)與選型參考》
儀器具有測(cè)量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、結(jié)構(gòu)緊湊、使用簡便等特點(diǎn)。
儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。 


ST2258C型多功能數(shù)字式四探針測(cè)試儀基本技術(shù)參數(shù)

1. 測(cè)量范圍、分辨率(括號(hào)內(nèi)為可向下拓展1個(gè)數(shù)量級(jí))
    電    阻:10.0×10-6 ~ 200.0×103  Ω,    分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×103  Ω
               (1.0×10-6 ~ 20.00×103  Ω,    分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×103 Ω)
    電 阻 率:10.0×10-6 ~ 200.0×103 Ω-cm   分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×103  Ω-cm
               (1.0×10-6 ~ 20.00×103 Ω-cm  分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×103 Ω-cm)
    方塊電阻:50.0×10-6 ~ 1.0×106 Ω/□    分辨率5.0×10-6 ~ 0.5×103  Ω/□ 
               (5.0×10-6 ~ 100.0×103 Ω/□  分辨率0.5×10-6 ~ 0.1×103  Ω/□)
2. 材料尺寸(由選配測(cè)試臺(tái)和測(cè)試方式?jīng)Q定)
    直    徑: SZT-A圓測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15~130mm,手持方式不限
    SZT-B/C/F方測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式180mm×180mm,手持方式不限.
     長(高)度:  測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤100mm,    手持方式不限.
     測(cè)量方位:  軸向、徑向均可
3. 量程劃分及誤差等級(jí) 

滿度顯示200.020.002.000200.020.002.000200.020.002.000
常規(guī)量程kΩ-cm/□kΩ-cm/□Ω-cm/□mΩ-cm/□---
最大拓展量程---kΩ-cm/□Ω-cm/□mΩ-cm/□mΩ-cm/□
基本誤差±2%FSB±4LSB±1.5%FSB±4LSB±0.5%FSB±2LSB±0.5%FSB±4LSB±1.0%FSB±4LSB

 4.工作電源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W
5.外形尺寸: 245mm(長)×220 mm(寬)×95mm(高) 


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